镀膜机技术参数

更新时间：2023-03-23 | 点击率：1534

技术参数：

1. 真空室：∅220mm*H400mm；
2. 可镀最大工件尺寸：60*60mm,配抽拉式样品台，样品可旋转；另配备铜基板样品台；
3. 真空系统：机械泵+分子泵抽气系统；极限真空度：优于 5*10-5Pa；
4. 抽气时间：大气压~8*10-4Pa 小于 30min；
5. 蒸发：电阻式蒸发电极（1 对），可达到 1800℃（只要熔点低于 1600 度的都可以蒸镀）功率：2KW；
6. 开启方式：正面开门结构，便于换丝及装料；
7. 水冷循环系统 0.5P；
注：可根据用户需要进行配置调整！

设备结构介绍：

该设备由真空室、真空机组和电气系统组成

1. 真空室

圆形形腔体，侧部抽气，正面开门。不锈钢材质，配 DN60 观察窗（含防污挡板）、预抽接口、充气接口；内部有底板、蒸发源等；

2. 真空系统及进气

采用 110L 分子泵+4L 旋片式机械泵。采用真空波纹管连接，配有复合式数显真空测量仪表。

3. 电气系统

电气系统包括真空机组控制、蒸发与烘烤控制、真空测量控制等部分组成。有安全互锁机构，有效防止误操作发生。系统配有 1 套蒸发电源，数显。

4. 膜厚测量装置：采用石英晶振膜厚仪及水冷探头一套（选配）。