程控匀胶机具有真空通道进胶安全保护功能

更新时间：2023-02-01 | 点击率：783

　　程控匀胶机具有速度精度高、转速稳定、旋转加速度可控、匀胶过程多段程序控制等特点。主要用于微电子、半导体、太阳能电池、新能源、生物材料、光学器件等领域的表面涂膜工艺，例如各类纳米薄膜材料、光阻涂层、生物功能涂层的制备。

　　程控匀胶机的性能：

　　1.转速可控范围：100-12000RPM，转速分辨率：1RPM

　　2.大单步步长3000S，旋转时间分辨率0.1S

　　3.加速度可控范围：100-30000RPM/S

　　4.可处理碎片(小于1cm)至6英寸(150mm)圆晶底物

　　5.4.3寸全彩触摸屏，提供触屏笔操作，中英文界面可选

　　6.可进行多步程序运行，多可存贮10组10步程序

　　7.HDPE高分子耐腐蚀、易清洁内腔，带排废功能

　　8.SUS耐腐蚀不锈钢机身，耐溶剂性PC透明盖子

　　9.带一只自动点胶端口，可升级自动点胶功能

　　10.100W直流无刷电机，宽电压适用：AC100-230V输入

　　11.带真空和盖子开关互锁功能，确保操作安全

　　12.标配三种规格铝合金真空载物盘（直径10mm、25mm、55mm）

　　13.防堵胶功能设计，真空通道进胶安全保护功能

　　14.外形尺寸：256(W)*358(D)*258(H)

　　程控匀胶机是高精密的旋转涂膜仪。主要为高等院校、科研院所、研发中心等进行研究，开发各种功能薄膜所用。适用于半导体硅片、晶片、ITO导电玻璃、光学玻璃、生物薄膜、制版等工艺表面涂覆。